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二维是平面,三维是立体。

原本的晶体管,是通过光刻技术,“刻”在硅片上的。改成三维的话,就类似于将晶体管“搭建”在芯片上。

其技术难度很显然要提升许多倍。

“我之前研发的多重曝光技术,貌似正好可以用在三维晶体管的光刻上,先试一下。”

无需经历复杂的申报流程,无需沟通交流,无需资源搜集,前一秒李青松刚刚获取到了这种可能性,这一秒,李青松便直接做出了决定。

于是众多正在尝试其余解决方案的克隆体立刻放下了手中的工作,全部加入到了对这一种可能性的尝试之中。

进行这种尝试所需要的相关资源更是立刻到位,连一点耽误都没有,整个流程效率快到了极致。

完成了前期设计之后,试验型的多重曝光设备立刻开始在实验室之中对一枚硅片进行蚀刻。然后便是一系列的检测流程。

当最终结果呈现在李青松面前的时候,李青松满是欣喜的瞪大了眼睛。

“竟然真的可以!”

将晶体管从二维改为三维之后,短沟道效应果然消失了!晶体管的性能,和电流的稳定性再度提升!

“就是这个了!”

距离这个想法冒出来才仅仅过去不到半个月时间而已,李青松便在此刻实验数据的基础上,直接做出了足以改变整个产业方向的重大决定。

三维晶体管毫无疑问具备更高的性能,但它也意味着一个问题。

那便是,技术难度相比起之前大幅提升,相应的,要使用这种工艺,制造流程也将极大延长。

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